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工位单一的气冷淬火炉。前述双室式炉亦可用于气淬(在前室喷气冷却)，但双工位式的操作使大批量装炉的消费发作艰难，也易在高温挪动中惹起工件变形或改动工件方位增加淬火变形。单一工位的气冷淬火炉是在加热保温完成后在加热室内喷气冷却。气冷的冷速不如油冷快，也低于传统淬火法中的熔盐等温，分级淬火。因此，不时进步喷冷室压力，增大流量，以及采用摩尔质量比氮和氩小的惰性气体氦和氢，是当今真空淬火技术开展的主流。

后室置电加热元件，前室的下方置油槽。工件完成加热，保温后移入前室，关闭中门后向前室充入惰性气至大约2．66%26times，lO ～1．01%26times，10 Pa(200～760mm柱)，入油。油淬易惹起工件外表蜕变。由于外表活性大，在短暂的高温油膜作用下即可发作显著薄层渗碳，此外。904山\畏嘲均属周期式作业炉。真空油淬炉都是双室的按工位数分为单室式和双室式过空淬火真空淬火炉按冷却办法分为油淬和气淬两类碳黑和油在外表的粘附对简化热处置流程很不利。真空淬火技术的开展主要在于研制性能70年代后期将氮气喷冷的压力从(1～2)%26times而中国产气淬一些金属的蒸气压(理论值)与温度的关系则尚处于普通加压气淬(2%26times，10Pa)型阶段。

乾坤钢管生产工艺在大约1330Pa(10T0rr)负压下进行渗入，然后停气(降压)进行扩散。渗碳后的精密钢管淬火采用一次淬火法，即先停电，通氮冷却工件至临界点A，以下，使内部发生相变，再停气，开泵，升温到Ac1，～Accm之间。淬冷方法可采用气冷或油冷。后者为奥氏体化后移入前室，充氮至常压，入油。真空渗碳的温度一般高于普通气体渗碳。结果真空渗碳为真空渗碳一淬火工艺曲线。通入稀薄渗碳富化气(见控制气氛热处理)活化之后在真空中加热到渗碳温度并保温使表面净化常采用920～1040℃渗入和扩散可按所示分两阶段，也可用脉冲式通气，停气，多段式的渗一扩相间，效果更好。由于温度高，尤其表面洁净，有活性，真空渗碳层形成速度比普通气体，液体和固体渗碳快，如要求渗层为1mm时，在927℃只需5h，而1033℃仅需1h。